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氩气纯化装置

氩气纯化原理

氩气原料来源于空分设备,空分设备中提取出的氩气纯度一般在99.999%,由于在灌装和输送的过程中会产生二次污染,到用户端氩气纯度一般下降至99.99%,氩气纯化装置和氮气纯化装置通用,首先除氧,采用勃大泰欣生产的曾获得国家二等发明奖的3093脱氧剂除氧,杂质二氧化碳、水等通过吸附、过滤除去。吸附采用复式流程,即两组吸附器并联,一组工作,同时另一组再生,以保证装置连续运转,装置有自动和手动两种控制方式可供用户选择,纯化后气体纯度可以达到99.9995%。

如果需要进一步提高纯度至99.9999%,后端再加一级吸附,采用非蒸散型锆铝16吸气剂为净化剂,在一定的温度下,吸气剂可与氩气中的微量杂质O2N2H2H2O、CO、CO2CH4等形成稳定的化合物或固溶体,从而得到超纯氩气。

装置技术特点

本装置净化器采用特殊结构,具有接触面积大,阻力小,净化效率高,热功损耗小等优点。本装置可与区熔硅单晶炉配套使用可用于激光器、溅射、半导体生产,气相色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩气的生产技术领域。

装置技术参数:

流量:1~300Nm³/h  

压力:0~2.0Mpa

纯度:99.9999%

露点:<-70℃

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